60周年
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成果類別 科專研發
產出年度 101
計畫名稱 分項主持人運用經費
技術類別
搭配推廣專利
技術現況敘述 本移轉技術為高穩定度鍍膜技術，藉由本技術可快速整合不同製程設備，完整控制各製程參數。
技術規格 具有快速穩定製程品質與符合SECS系統通訊規範之濺鍍設備控制技術
可移轉技術名稱(中) 太陽能電池濺鍍製程控制與設備通訊技術
可移轉技術名稱(英) Technology of sputter control and equipment communication
可應用範圍 薄膜太陽能電池製造、IC製造
市場(產品/服務)潛力預估 佳，可幫助國內鍍膜設備製造商增加設備之穩定度、可靠度，或協助元件製造廠商快速整合各製程設備之技術移轉
所需之主要軟硬體設備 製程設備、主伺服器、工業電腦
總聯絡窗口 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
control_system

更新日期：108-03-18　/　維護單位：系統管理者
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