60周年
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成果類別 科專研發
產出年度 100
計畫名稱 微量測系統技術實驗室
技術類別 電能管理晶片設計與機電系統整合
搭配推廣專利
技術現況敘述 已完成建置『國內精微元件檢測項目及設施最完善且為國內首創應用音叉探針及微細幾何特徵尺寸量測』之實驗室，並建立國內自主之高深寬比微細特徵三軸量測及四軸旋轉量測能力，開發高精度音叉感測模組，取代國外大廠壟斷量測探頭市場的困境，提供國內業者所需之精微量測技術支援平台。
技術規格 球狀探針：直徑≦100um，探針重複性≦0.2um。 行程：150x150x100mm。 線性定位精度：0.5um
可移轉技術名稱(中) 微量測技術開發
可移轉技術名稱(英) Development of Micro-Measurement
可應用範圍 模具加工檢驗、機械相關產品檢驗、光學元件檢驗
市場(產品/服務)潛力預估 提供國內業者所需之精微量測技術支援平台，協助光學元件、模具與精微零組件產業業者，分別協助其克服光學元件產品受困於光學式系統無法有效對透明微結構進行量測，以及一般現有之三位元量床受限於現有示售探頭精度不足與最小探針尺寸限制，無法進行精密光學模具及精微機械零組件幾何工差之量測所需高深寬比的需求窘境。
所需之主要軟硬體設備 精密三位元量床、次微米量測儀、高精密線性移動平台、高精度形狀量測儀
總聯絡窗口 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
微量測2

微量測

更新日期：108-03-18　/　維護單位：系統管理者
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