60周年
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主題/活動名稱

2019台灣微型晶圓座談會研究計畫成果發表

活動日期 2019-06-13 ~ 2019-06-13
場次
活動地點 台元科技園區一期會館2樓會議中心(新竹縣竹北市台元街26號2樓)
主辦單位 恒暉科技股份有限公司
協辦/合辦單位 金屬工業研究發展中心、工業技術研究院、國際半導體產業協會、日商橫河
主講人
聯絡人 恒暉科技 許先生
電話 03-560-0658 分機157
內容 6/13@新竹，期盼與您見證minimal Fab的實際案例，歡迎報名!!

由日本AIST與超過三百家民間企業。
歷時七年共同合作開發一系列半導體製程與多種化合物基材之製程設備。
也就是Minimal Fab的誕生。
Minimal Fab打破了不需無塵室環境的條件。
Lead Time甚至大幅縮減至只需數天甚至數小時/低能源損耗/各站點設備尺寸一致等皆為Minimal Fab的優勢。
目前Minimal Fab實績為成功開發超過70餘台，
從半導體各段製程RCA→曝光(無需光罩直寫技術)→顯影→蝕刻→爐管→濺鍍→PE-CVD→SEM等製程，
Minimal Fab皆可做到!

繼2018年 Semicon Taiwan參展，金屬工業研究發展中心完成了迷你晶圓試作的案子，
這個開端築起了台灣與日本前端半導體Minimal Fab的橋梁。
於今年6/13(四)又將譜出Minimal Fab半導體序曲! 
由AIST/JAXA/国立沖繩高專/ Yokogawa Solution Service等日本半導體及特殊基材化合物先驅研究學者們，
即將在台灣竹北的台元科學園區內，舉辦Minimal Fab半導體的講座以及與台灣半導體相關企業人員們做學術交流。
備註
檔案下載 【EDM】2019台灣微型晶圓座談會研究計畫成果發表.jpg 、 【報名QR Code】.png
更新日期：111-10-06　/　維護單位：系統管理者
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