專利名稱

電漿輔助退火系統

年度 112
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 新型
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1120101~1210831
專利證號 M636106
摘要 本發明之一種使用電漿解離氣體退火氮化鋁薄膜方法具備有低缺陷密度之功能性薄膜。用於電子元件上,可避免降低元件之電子遷移率在後續從而限制元件的最大輸出功率,實現高品質緩衝層薄膜;用於太陽能電池上,用於晶圓表面鈍化,提升光電轉換效率。此專利將揭示氮化鋁薄膜電漿解離氣體退火之製程方法。
特色 本發明所提出之一種使用電漿解離氣體退火氮化鋁薄膜方法可取代現行主流半導體緩衝層製備方法,可望提升半導體緩衝層之結晶品質與與太陽能電池鈍化層的效能,增加產品競爭力與售價。
創造效益 本發明之優點在於使用電漿解離後氣氛進行氮化鋁退火的製程優化進而使半導體緩衝層品質受到相當程度的提升,不僅可解決半導體緩衝層缺陷密度與太陽能電池鈍化層之問題,降低碳附著提升半導體薄膜附著度與提升太陽能鈍化層效能,適合於大量生產製程中,達到產業之效益。
市場資訊 中國大陸太陽能市場在2017年持續爆發性成長,推升全年度全球太陽能市場規模首度突破100GW大關。TrendForce綠能研究(EnergyTrend)預估,2018年需求將進一步提高,上看106 GW,但各區域市場的需求比例將有所改變。根據EnergyTrend最新金級報告,中國2017年的太陽能併網量為52.83GW,為全球之冠,美國以12GW居次。而日本2017年併網量預計僅約6.09GW,使印度將以9.26GW的併網量取代日本成為全球第三大。在中國的帶動下,整個亞太地區2017年全球太陽能市占率將達72%,為史上最高。
EnergyTrend分析師曹君如表示,2016年是全球太陽能市場成長幅度最大的一年,年增率達42.5%;2017年則是全球市場首度達到100GW大關的一年,年增率也有26%之多,中國的需求持續暴漲,是這兩年全球市場需求大幅度成長的主因。
聯絡人 黃偉咸 電話 07-3513121分機 2365 
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更新日期:106-02-15 / 維護單位:系統管理者