60周年
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專利名稱

感測電極
年度 111
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1111021~1300413
專利證號 I781587
摘要 此專利提供一種連續性監測化學蝕刻槽之氧化還原電位(Oxidation Reduction Potential,ORP)用量測電極。其結構包括內參考電極連接阜、第一傳導電極材料、雙鹽橋外套管、第二傳導電極材料、第三傳導電極材料、第四傳導電極材料連接阜以及第四傳導電極材料。透過複即時感測特定位置及特定時間的蝕刻槽氧化還原電位數據，可實現化學蝕刻槽之連續性監測，進而提供反饋，自動控制調整進料量、流速、施加電壓、酸鹼值等。
特色 綜觀附表六彙整之全球專利，已公開且使用期限截止之專利也無類似本案之雙夾套鹽橋設計型氧化還原電位(Oxidation Reduction Potential，ORP)量測電極，本案設計使整體ORP量測電極在連續使用過程測值穩定，延長使用壽命，可獨立配合市售Meter量測或是系統整合於監測儀設備，應用於化學、生化、農業及環境等領域。
創造效益 本案提供種續性監測化學微蝕刻槽之氧化還原電位(Oxidation Reduction Potential，ORP)用量測電極，可整體量測電位及體積縮小，直接鉑金線作量測電極，降低製作時原物料成本，搭配雙鹽橋系統，及附有螺紋的夾套結構設計，除在量測時電解液不易洩漏有效保護參考電極外，當電極達使用時效期限也易於組裝、拆換清潔及修繕更換。
市場資訊 根據臺灣電路板協會統計(TPCA)，2020年臺灣PCB產業產值約220億美元，臺資PCB整體資本支出超過1,000億新台幣，PCB產線濕製程約占70%，其中在線路蝕刻、鍍薄銅前微蝕、鍍厚銅前微蝕、化金前微蝕、廢液排放等4種製程設備均需要藥液感測系統。目前國內產業大多仰賴大量的線上取樣與人工分析，進行定時取樣至化學化驗室，透過傳統化學滴定方式或藥水廠商提供的檢驗方法，進行滴定、層析..等分析流程，耗時且須排隊；國外大多是國外藥水廠商所掌握，以多項感測器整合成監控儀，價格約台幣150~200萬。本案氧化還原電位(ORP)是關鍵感測器之一，不僅可單獨使用，更可輕易整合於監測儀設備內，benchmark國外約新台幣1.5~2.0萬/支，本案開發約市售一半0.7~1.0萬/支價格，而臺灣PCB廠商數至少650家以上，在政府大力推動工業4.0下，不僅擺脫國外進口，更有效降低使用者費用達到雙贏。
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期：106-02-15　/　維護單位：系統管理者
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