60周年
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專利名稱

太陽能電池之鈍化層的退火方法
年度 110
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1101121~1291104
專利證號 I747597
摘要 本發明係關於一種太陽能電池鈍化層的微波退火製程方法，其包括：提供一太陽能電池製程，在一基板上形成一鈍化層薄膜；後退火，利用一微波裝置將該太陽能元件進行微波退火，其頻率係為2.45GHz，微波功率介於150W與1000W之間，其溫度係介於200℃與500℃之間；藉此，本發明能夠在不破壞材料特性與結構界面並可縮短製程時間及提升薄膜載子生命周期的前提下，達到退火的效果，故可解決習用高溫退火之熱處理技術所造成的缺點。
特色 在相同製程溫度下可達到更高的少數載子生命週期及暗示電壓值，這對太陽能電池效率有很大影響，進而可得到更高效的太陽能電池元件。在太陽能製程上減少了時間成本，在更短的時間內，即可達到與原製程相同甚至更佳的製程成果。
創造效益 本專利優點為利用微波能量取代傳統高溫熱處理方法，傳統熱處理過程中所產生的高溫會造成材料特性的破壞、結構界面的破壞、接面擴散以及交互擴散等缺點，另外，一般高溫爐管需要較長的製程時間也在製程效率上打了折扣。而微波熱退火可以在短時間達到更優異的製程效果，透過材料本身對微波的吸收性，達到內外均勻整體的能量吸收加熱，擁有減少高溫熱破壞、製程時間短、加熱均勻性佳等優異性能。
市場資訊 2016 年全球 PECVD 的市場佔比接近90%，而ALD 僅略高於5%。雖然 PECVD將保持這一領先地位，但上升趨勢不大，而ALD預計會在未來十年內大幅提升其市佔率。ITRPV中對ALD的前景樂觀，預期其市佔率將從2018年的5%上升至2026年的接近15%。韓華Q Cells公布了採用ALD與MW-PECVD沉積氧化鋁的對比結果，發現 ALD沉積膜有更高的效率，該電池製造商在EUPVSEC 2016會議上發表了這個研究結果，這比使用MW-PECVD設備得到的電池的效率高了0.15%。
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期：106-02-15　/　維護單位：系統管理者
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