60周年
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專利名稱

微波加熱裝置
年度 109
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1090321~1271129
專利證號 I689226
摘要 本發明單模微波加熱裝置包含微波電源供應器、磁控管、導波管、隔熱保溫件、產熱板、金屬板、微波隔離器與溫度偵測模組。該單模微波加熱裝置構造簡單，適用於真空環境下，無須複雜製造工法，均溫效果佳，升溫速率較習知電阻式加熱裝置快效率高，且具耗能低優勢。
特色 本發明所開發微波加熱裝置除了可應用於半導體產業，尚可用於面板產業、太陽能產業，其應用範圍甚廣。
創造效益 本發明單模微波加熱裝置包含微波電源供應器、磁控管、導波管、隔熱保溫件、產熱板、金屬板、微波隔離器與溫度偵測模組。微波傳送路徑是由磁控管的電子束用來產生微波源，經由導波管傳送單模微波至反應腔體內部，最後經由微波隔離器將多餘的微波分流並吸收掉。被加熱物包含在波導管中，被加熱物外面有一產熱板，該產熱板材質為極易被微波加熱的材料，產熱板上有一金屬板用來吸收來自產熱板的熱量並將熱量傳遞至被加熱物，被加熱物、金屬板以及隔熱保溫件外面有一隔熱保溫件包覆避免熱量外漏。
市場資訊 根據國際半導體設備暨材料協會(SEMI)統計，2016年臺灣設備市場規模為新台幣2,986 億元，佔全球半導體設備市場24.1%，為全球最大半導體設備市場。且根據調查資料顯示，2012~2016年臺灣半導體設備需求皆佔全球半導體設備需求市場的比率約26%，持續高居全球之冠。除了日本、韓國強勢競爭外，近年來中國大陸持續以政策、需求雙輪驅動加速崛起，包含2014年「國家積體電路產業發展推進綱要」，增加對本土半導體產業供應鏈扶植力道，協助中國大陸半導體業者進行整併及「中國製造2025計畫」將提升國內關鍵零組件自主生產比例40%等計畫目標，皆將促使中國大陸半導體市場規模擴大，並迫使中國大陸廠商積極轉型、提升競爭力。根據國際半導體協會（SEMI）全球晶圓廠預測報告指出，中國晶圓廠設備投資金額將達67億美元，預估明年設備投資支出金額約達100億美元，年成長近五成，且將從今年全球第三大設備支出市場晉升到第二大，僅次於台灣。全球半導體廠商將促使順勢投資佈局中國大陸市場。台灣主要晶圓代工大廠亦加速至對岸設廠規劃的步伐，包含台積電於南京設置12吋晶圓廠、聯電入股聯芯積體電路製造於廈門設立12吋晶圓、格羅方德與重慶市政府合資興建12吋晶圓廠等。
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期：106-02-15　/　維護單位：系統管理者
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