60周年
專利名稱

NONCONTACT FLUID BEARING AND MANUFACTURING METHOD THEREOF

年度 109
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 美國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1090211~1271220
專利證號 10,557,501
摘要 本專利提出一種非接觸式流體軸承元件與製造方法。其構想係於多孔質節流元件的流體入口側,以原基材長成或結合外加材料形成可調控流體流量之限流薄膜層(多數需求為降低流量)。此限流薄膜層可於與多孔質節流元件底面結合前或結合後以雷射、微鑽孔、銑削、微影蝕刻的加工方式,依流量、流速、分布…等流體個性需求在薄膜層表面開孔、溝槽、圖案或特定角度之通孔。
主要功效為調整通過多孔質節流元件之流體流量,並藉以解決多孔質流體靜壓軸承因流量過大產生自激振動,而導致失效之問題。同時軸承之流體效應亦可藉由加工的幾何特徵尺寸與分
特色 1. 此新型多孔質流體靜壓軸承技術預期將可應用於直線、旋轉型的超精密定位平台與旋轉主軸中,這些產品為建構各產業領域超精密設備的基礎關鍵模組。
2. 在專利部分,預期此構想技術將可申請屬於較為上位的專利,對於未來中心於靜壓技術領域的專利佈局與應用將有關鍵性的影響。
3. 此專利技術的製造方式在製造難度與成本的降低部分,將可因成本的降低提供更好市場競爭優勢及差異化產品類型的架構。
創造效益 1. 本專利所構想的一種非接觸式流體軸承元件與製造方法,具有以下優點:
主要功效為調整降低對多孔質節流元件之流體流量,藉以解決目前市場可取得多孔質材料應用於流體靜壓軸承元件中,會因滲透率過大而振動導致失效之問題,另靜壓軸承流場特性亦可藉由加工的幾何特徵尺寸與分佈來調整控制。
另一專利功效為降低製造難度與成本,針對設計於多孔質節流元件底部之限流薄膜,後續並非為流體軸承表面產生靜壓流場之功能部位,所以在加工製造與組裝流程上可以將原平面度、面粗糙度、膜厚等製造精度需求由<1um/100mm放寬至100um/100mm以上,加工製造、組裝
市場資訊 1. 目前全球有New Way、Nelson與Specialty Component等三家公司以多孔質靜壓軸承成品元件方式提供,無法直接取得多孔質素材進行客製化應用。
2. PI收購Nelson公司,在其既有之壓電與滾珠線軌平台產品線中,新增一氣靜壓平台與系統產品線。
3. 在學術單位部分則有克蘭菲爾精密工程學院在2006年開發出SC(Starch consolidation)製程技術,用以製作低成本、性質穩定且優良的多孔陶瓷,目前此技術以移轉予Cranfied Precision公司並有實驗型的主軸應用實績。
聯絡人 黃偉咸 電話 07-3513121分機 2365 
E-mail:vincent@mail.mirdc.org.tw
更新日期:106-02-15 / 維護單位:系統管理者
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