60周年
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專利名稱

複合靶材
年度 107
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1070921~1260913
專利證號 I636147
摘要 將靶源組合改進，使複合靶各元素之濺鍍速率等同於單一元素時之濺鍍速率。
特色 本技術對高熵合金薄膜研究、量產，提供一革命性改良，大幅降低高熵合金薄膜的製作成本與難度。高熵合金薄膜的市場應用面有多大，該技術的應用面就有多大。
創造效益 過去要濺鍍多元金屬薄膜時，需將多種合金鎔鑄成一金屬塊再加工成靶材。但是多元金屬由於個金屬熔點不同，且偏析嚴重，要熔成均勻靶材困難，且成本較高。
金工中心於2012年專利I406964，該專利則是將各種純金屬塊組成一塊靶材，使薄膜可實現多元合金混合相。但是該技術有一缺點，各元素靶材比例需花費大量時間找參數。由於各元素電阻差異，使的原本的鍍膜速率參考表無法使用。因此在使用上也不方便。
市場資訊 2012年世界切削刀具市場規模將達到160億歐元。區域別的市場比率中，亞洲最高為44%，歐洲為38%，美洲為18%。切削刀具的類別，根據世界的區域以及相關產業會有差異。
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期：106-02-15　/　維護單位：系統管理者
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