60周年
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專利名稱

線性運動平台之量測裝置
年度 107
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1070411~1251220
專利證號 I620917
摘要 高精密定位與高重複精度之線性平台與X-Y平台為精密定位機械的關鍵性設備，廣泛應用在微細加工、檢測、半導體製程及其他自動化工業。因此發展量測系統可同時量取雙軸線性平台之多自由度動態誤差與線上定位量測，將對於精密運動平台的精度校正將提供莫大助益，以達到精確控制的目標；本發明提供一種精密的四自由度動態誤差量測裝置，其可應用在雙軸線性平台之多自由度動態誤差量測，藉由反射光於光感測器上產生對應的微小二維位移的變化以獲得線性定位、直線度誤差、傾斜角度誤差與兩軸之垂直度誤差。
特色 1. 以往受限於量測方法，須組合許多不同的量測儀器進行雙軸線性平台之多自由度誤差量測時，則將使系統複雜化，而利用本專利所建立的量測方法，可量測雙軸線性平台之多自由度動態誤差，獲得線性定位、直線度誤差、傾斜角度誤差與兩軸之垂直度誤差。
2. 利用本專利所提出的量測方法，可克服以往多自由度量測系統應用於複合多軸精密線性平台系統檢測之元件體積與工作距離過大，無法供有效製成量化與精質的商品之技術瓶頸。
創造效益 1. 本專利提出之量測方法，可針對雙軸線性平台之多自由度動態誤差量測，獲得線性定位、直線度誤差、傾斜角度誤差與兩軸之垂直度誤差，以解決現有多自由度量測技術之系統複雜化所造成的量測不確定度問題。
2. 利用本專利所提出的量測方法，亦可整合現今之複合多軸精密線性平台系統，以探討整體平台之多自由度動態誤差，有效掌握精密平台之運動特性，突破以往無法於複合多軸精密線性平台系統之多自由度誤差動態誤差量測的技術瓶頸。
市場資訊 工具機是國內製造業最普遍的應用機具，然而在最近這裡年產業界和學術界相繼投入研究下，工具機的發展已經有了很大的突破，因愈來愈講求的精密度，已經從基本的陽春型轉為精密導向的機型，而控制器的發展也愈來愈進步。而現在產業的趨勢為五軸加工方向及奈米技術，故工具機除了功能之外，相對的精確度的優劣也是決定工具機好壞的重要指標。
高精密定位與高重複精度之線性平台與X-Y平台為精密定位機械的關鍵性設備，近年來廣泛應用在微細加工、檢測、半導體製程及其他自動化工業。因此發展量測系統可同時量取雙軸線性平台之多自由度動態誤差與線上定位量測，將對於精密運動平台的精度校正將提供莫大助益，提供系統動態誤差補償訊號，以達到精確控制的目標；線性平台(linear stage)為精密定位機械的關鍵性設備，並廣泛應用於高精度的應用領域；在檢測線性平台的精確度時，若採用雷射干涉儀、光學尺、自動視準儀(autocollimator)或電子水平儀等量測儀器，使用此類儀器量取每一種誤差時，儀器的安裝和參考軸的對準(alignment)也均須個別再作校正，但每次重新校正後所量取的實際量測路徑並無法與前次路徑完全相同，而多次的校正程序也易引入誤差，量測耗時而且增加量測不確定度； 因此發展量測系統可同時量取雙軸線性平台之多自由度動態誤差與線上定位量測，將對於精密運動平台的精度校正將提供莫大助益，提供系統動態誤差補償訊號，以達到精確控制的目標
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期：106-02-15　/　維護單位：系統管理者
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