60周年
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專利名稱

MEASUREMENT DEVICE OF LINEAR BEARING STAGE AND MEASURING METHOD THEREOF
年度 105
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 美國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1050209~1231211
專利證號 US9,255,788B1
摘要 為發展線上量測系統可同時量取線性平台之多自由度誤差與線上定位量測，將對於精密運動平台的精度校正將提供莫大助益，提供及時定位誤差補償訊號，以達到精確控制的目標；因此本發明提供一種精密的直度誤差量測裝置，其可應用在線性平台之即時直度誤差。此裝置包括反射式二維弦波光柵以及量測單元。反射式二維弦波光柵位於導軌，量測單元包括反射鏡、聚焦透鏡、光源、1/4波片、極化分光鏡及光感測器。藉由反射光於光感測器上產生對應的微小二維位移的變化以獲得線性定位與直度誤差。
特色 1. 以往受限於量測方法，組合許多不同的量測儀器進行多自由度誤差量測時，則將使系統複雜化，與目前精密線性平台整合性低，而利用本專利所建立的量測裝置，即時量測線性平台之定位與直度誤差。
2. 利用本專利所提出的量測方法，可克服以往多自由度量測系統之元件體積與工作距離過大，無法供有效製成量化與精質的商品之技術瓶頸。
創造效益 1. 本專利提出之量測裝置，可即時量測線性平台之定位與直度誤差，以解決現有多自由度量測技術之系統複雜化與線性平台低整合性。
2. 利用本專利所提出的量測裝置，亦可整合現今之三軸精密線性平台，以探討整體平台之六自由度誤差與直度誤差，有效掌握精密平台之運動特性，突破以往無法於線性平台之多自由度誤差量測的技術瓶頸。
市場資訊
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期：106-02-15　/　維護單位：系統管理者
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