60周年
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專利名稱

多孔質氣靜壓軸承之製作方法
年度 105
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1050821~1230526
專利證號 I546464
摘要 本專利目的在開發一種具雙微節流結構層之新型式多孔質節流元件。其構想係於多孔材料的表面製作一不透氣、緻密的材料薄層。再以短脈衝雷射、微鑽孔或微銑削的後加工方式，依流場需求在薄層表面開孔、溝槽、圖案或特定角度之節流孔。可以降低對多孔質基材特性之嚴苛要求，且表面流場特性亦可藉由二次加工的幾何特徵尺寸與分佈來調整控制，藉以解決多孔質材料孔隙在尺寸、孔隙率、滲透率…等性質不易掌控的問題，同時為超精密設備發展所需的靜壓軸承材料建立關鍵製造技術，突破受制於特定國外廠商之限制。
特色 1. 新型多孔質靜壓軸承元件技術預期將可應用於直線、旋轉型的超精密定位平台與旋轉主軸中，這些產品為建構各產業領域超精密設備的基礎關鍵模組。
2. 預期此專利結合先前申請之氣靜壓專利，對於未來中心於靜壓技術領域的專利佈局與應用將有關鍵性的影響。
創造效益  在提升多孔質節流性能的同時，可以降低多孔質材料生產的技術要求與成本，突破以往多孔質節流型式軸承應用上面臨的限制瓶頸。
 改善多孔質材料因製造方式而造成的材料孔隙尺寸、孔隙率、滲透率性質變異性與分佈不均。
 多孔質靜壓軸承的表面流場將可藉由設計的幾何圖案、配置與型式進行控制調整。
 可改善多孔質靜壓軸承表面流場的穩定性、透氣率與分佈均勻性。
 更適用於應用在小型的主軸、定位平台元件開發，以解決現有市場之精微設備需求模組元件尺寸體積過大的問題。
市場資訊
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期：106-02-15　/　維護單位：系統管理者
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