60周年
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專利名稱

橢圓偏光儀及用於橢圓偏光儀之偏振態調變方法
年度 104
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1040401~1211226
專利證號 I479141
摘要 橢偏儀之基本構想奠基於橢圓偏光術，是藉由分析光的極化態變化，來得到其待測物之特定性質。橢偏術是非常靈敏的光學技術，以偏振光的變化來量測材料表面的性質，其基本原理是：以一束極化光 (Polarized Light)入射於樣本上，量測此束光極化性質的改變，由變化量推導出樣本之性質。本專利擬提出一種快速調變入射光偏極化的方法，改善傳統橢偏儀旋轉偏極片調整入射光波偏極化之狀況，將原本Hz等級調變速度提昇至kHz等級，有效提高光極化偏振調變速度，縮短整體量測時間。
特色 本專利提出適用於橢偏量測系統的快速偏振態調變方法，可廣泛應用半導體及面板製造業，2009年三星成功地銷售260萬台LED TV，引領大廠競逐此新市場，對於2010年均提出了樂觀的出貨量目標，Samsung目標1,000萬台、LG為750萬台、Sony及Sharp 為500~700萬台，Philips、Toshiba、Vizio為300~500萬台。根據Displaybank預估，LED TV 2010年全球出貨量挑戰2,600萬台，2012年全球在面板產值約826億美元，到2016年時約將成長到1114.5億美元。
創造效益 本光學系統優勢在於可快速調變入射光偏振狀態，同時於系統中將不受限於機械式移動元件，因此可避免由溫度所引起偏振狀態改變之現象。在光學相位Δ接近0?或180?時，其量測靈敏度將不會降低。
市場資訊
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期：106-02-15　/　維護單位：系統管理者
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