60周年
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專利名稱

導氣電極板
年度 105
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1050311~1201113
專利證號 I525887
摘要 一種導氣電極板，係包含：一導通材，係具有一導接部；及數微孔，係貫穿該導通材，且該數微孔於該導通材之分佈係符合下列關係式：0.35≧Ao/A≧0.045，其中，Ao係為該數微孔之透氣面積總和，A係為該導通材之面積。
特色 1.提供一種導氣電極板，其係能夠供氣體均勻散佈於電極間，且同時維持電極上之電位均勻性，以確保電漿生成之均勻度且提升沉積薄膜之良率者。
2.有效降低電漿中離子過度轟擊之現象，以穩定沉積後的薄膜折曲度，而產出高品質薄膜者。
創造效益 本發明係關於一種電極板，特別是一種具有導氣及均勻電位分佈之導氣電極板。
市場資訊
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期：106-02-15　/　維護單位：系統管理者
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