60周年
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專利名稱

共平面三軸定位裝置
年度 104
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華人民共和國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1041021~1201223
專利證號 ZL201110451213.2
摘要 本發明係有關於一種共平面三軸定位裝置，其包含一固定平台、一第一驅動模組、二第二驅動模組及一定位模組，定位模組包含一定位平台、一第一驅動軸及二第二驅動軸。第一驅動模組及二第二驅動模組驅動第一驅動軸及二第二驅動軸，帶動承載一工件之定位平台於同一平面上作一第一方向、一第二方向或一第三方向之運動，以定位一工件之位置。本發明之共平面三軸定位裝置結構簡單、體積小及容易模組化，而且本發明之共平面三軸定位裝置之定位精度達到次微米級。
特色 1.結構簡單。
2.容易模組化。
3.精度高。
創造效益 本發明係有關於一種定位裝置，特別是指一種可於同一平面作第一方向(X軸)、第二方向(Y軸)或第三方向(Z軸)運動之次微米級定位裝置。
市場資訊
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期：106-02-15　/　維護單位：系統管理者
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