60周年
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專利名稱

表面輪廓量測裝置及其量測方法
年度 103
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1030611~1181230
專利證號 I440820
摘要 本發明之表面輪廓量測裝置及其量測方法，表面輪廓量測裝置包含一分光結構、一感測器、一反射裝置與一白光光源，利用感測器擷取工件之一第一干涉影像，第一干涉影像具有零階條紋之一第一位置；移動該工件後在擷取該工件之一第二干涉影像，第二干涉影像具有零階條紋之一第二位置，如此以計算第一位置與第二位置之第一距離，在計算工件所移動之第二距離，最後描繪第一距離與第二距離。本發明藉由白光光源可對於表面輪廓變化小於光波長甚多之工件進行量測，並以非接觸式之量測方式以描繪出工件表面輪廓，以避免工件於描繪表面輪廓時刮傷。
特色 本光學量測系統可利用現有之光學顯微鏡系統，搭配一獨立量測模組，便可大幅提升量測精度，擴充原有設備之應用性，節省購置新設備之成本，並達到同等級之量測精度。
創造效益 1.量測精度達可達10nm。
2.量測時間迅速，系統架設簡易
3.對於不適宜碰觸試件表面之情況，可採取非接觸式之光學量測方法。
4.光學量測方法可針對各種幾何外型與尺寸之待測元件，搭配不同倍數之光學鏡頭，以獲得較佳之量測結果。
5.光學量測方法由於其非接觸性，可針對各種幾何外型尺寸與材料特性之待測元件進行量測，只需試件表面為可反射性，即可進行量測。
市場資訊
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期：106-02-15　/　維護單位：系統管理者
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