60周年
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專利名稱

冷卻裝置
年度 103
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1030201~1171001
專利證號 I425555
摘要 一種冷卻裝置，其包含一供給器、一噴嘴及一成形腔體。該供給器係供給工作介質，該噴嘴之一端結合該供給器；該成形腔體具有一送入口及一送出口，該送入口係結合該噴嘴之另一端，該送出口係噴發大顆粒固態工作介質。
特色 1.同時達到精密基板Cooling及Cleaning效果
2.提高設備稼動率及產能10%
3.高效率及環保
4.機台設備構造簡單，不像傳統冷卻方式需有流體的進出。
創造效益 利用低溫二氧化碳雪花噴流噴流噴佈於工作物表面，透過固態乾冰顆粒昇華之熱傳導及低溫二氧化碳氣流之熱對流過程，迅速吸收大量熱能來達成快速降溫及表面清潔的目的，可大量且迅速地讓晶圓降溫，不需要等待。
市場資訊
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期：106-02-15　/　維護單位：系統管理者
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