60周年
:::
專利名稱

電泳研磨拋光裝置及電泳研磨拋光方法
年度 100
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1000321~1161219
專利證號 I339145
摘要 ?一種電泳研磨拋光裝置及電泳研磨拋光方法，該電泳研磨拋光裝置包含一槽體、一伸入該槽體內的旋轉研磨單元、一升降單元及一電源供應器。該升降單元包括一升降組合體，及一設置於該升降組合體上並位於該槽體內的電極，該電源供應器供電給該電極與該旋轉研磨單元。當該升降組合體朝向一增電限制位置移動時，該電極鄰近該研磨座；當朝向一減電限制位置移動時，該電極遠離該研磨座。藉電泳研磨液內之研磨粒沈積於該旋轉研磨單元上，藉以研磨拋光金屬薄板，使得易量產、並減少熱效應，藉由改變該電極的位置以控制的沈積速度來提升拋光品質。
特色 1.提升該工件之研磨拋光效率。
2.避免於研磨製程時導致工件燒傷。
3.容易地形成小粒徑之磨輪。
4.有效監控研磨粒之沉積速度、厚度及自動化操作，以達良好之研磨拋光效果。
創造效益 本發明所達成的功效可促使磨輪研磨粒的微小化，以改善傳統磨輪不易製成較小研磨粒的瓶頸，加上電流監控與極間間距的動態控制，改善磨輪之磨粒沉積速度、厚度難以控制的問題，提升了研磨拋光的效率以及避免工件燒傷的事件。再者於金屬薄板上的拋光研磨，可達到可撓性基板於精微製程的需求，改善金屬薄板不易應用在可撓性軟性電子產品的精微結構製程上，可提供軟性電子產品所需要的可撓性金屬基板。
市場資訊
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期：106-02-15　/　維護單位：系統管理者
<