60周年
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專利名稱

用於表面清洗之噴嘴模組
年度 100
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1000521~1151219
專利證號 I342237
摘要 本發明係為一種可生成含微細乾冰顆粒噴流之噴嘴。其係結合風刀與二氧化碳雪花生成裝置，將噴嘴灑出來的二氧化碳乾冰顆粒之分佈形狀由圓形均勻展成線型，噴嘴於基板表面上；利用乾冰顆粒與基板表面上之污染微粒互相撞擊產生動量轉換之效果達到微粒去除的目的；同時大幅降低製程中二氧化碳的使用與噴洗時間，使其符合經濟與時效性。
特色 本專利係利用二氧化碳雪花噴灑與風刀結合，產生線型分佈噴流，達到以同樣的消耗量可以擴大噴洗範圍之目的；同時大幅降低清洗過程中所排放的二氧化碳，使其更符合"綠色製程"的本質。具有以下優點：
1.適合各種尺寸之基板清洗。
2.可視基板大小，並聯組裝噴嘴模組。
3.設備簡單、容易操作及維護。
4.噴嘴速度可獨立調整。
5.乾冰顆粒濃度可獨立調整。
6.二氧化碳消耗量更少。
創造效益 1.配合國內FPD產業之蓬勃發展日漸趨於大面板，水質源消耗的議題將越來越突顯；為符合國際環保法規的嚴格要求，避免將來可能被禁用或貿易制裁的危機，而達到產業永續經營的目的。
2.應用CO2Snow可部分取代水洗製程，減少水資源消耗與化學藥劑的使用量。在防止全球自然環境日益惡化的趨勢下，化學藥劑的使用將會愈來愈嚴格。而本專利開發CO2Snow，是一種沒有溫室效應且無毒性的清洗系統，確保在未來能夠繼續使用，並且不會對地球環境造成負擔，讓工業界能安心的採用。
市場資訊
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期：106-02-15　/　維護單位：系統管理者
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