60周年
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專利名稱

微流道結構的製造方法
讓與公告年度 113
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1040511~1211227
專利證號 I484548
摘要 本專利結合機械加工與鍍膜技術來製造奈米至微米尺寸等級的微流道結構。首先在平面基板上以雷射或機械切削等方法加工出開口寬度與深度為數微米至數十微米的溝槽，該溝槽至少有一側壁自開口以下數微米深度的壁面係與基板表面成垂直相交。然後對基板表面鍍覆由易蝕刻膜層與不易蝕刻膜層交互堆疊而成的多層膜鍍層，且該多層膜鍍層總厚度超過溝槽深度而填滿了溝槽。然後平行磨除基板表面上的鍍膜層以露出基板表面，原溝槽位置即出現填平溝槽的多層膜條紋沿原溝槽宛延的紋理，再透過選擇性蝕刻只將易腐蝕膜層材料除去所要深度而留下不易被腐蝕的
特色 在化工、材料、製藥等重要的應用研究領域，微反應器是提高反應產物品質和提高過程效率的重要手段。借助微反應器良好的混合和傳熱性能，微反應器可以有效地控制反應物的混合狀態和反應溫度，進而提高化學反應的選擇性。研究結果顯示，對於很多有機合成反應，利用微反應器可以有效地提高反應的選擇性和收率。
創造效益 1.利用簡易的微米加工技術、複合多層鍍膜及選擇性蝕刻技術，即可製造出微奈米尺度的流道結構。2.可因應流體物質之特性與化學反應需求而選用適當之膜層材料，例如硬質耐磨鍍膜或耐蝕性鍍膜、反應觸媒材料等，優化微流道構件性能。 而選用高剛性的鍍膜材料時，也可作為大量翻製用的微結構模仁用途。3.透過鍍膜處理時對各膜層膜厚之調整，可輕易調控微流道孔徑、間距、分布配置與密度等。4.透過對易腐蝕膜層材料與厚度之調整 ，也可以在同一基板上形成不同孔徑之微流道。5.透過微米加工之溝槽流動路線設計，即可變化微流道之流線樣式。6.透過基板
市場資訊
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期：112-08-04　/　維護單位：系統管理者
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