60周年
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專利名稱

探針量測補償方法
讓與公告年度 113
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1030911~1201219
專利證號 I452258
摘要 本發明是一種探針量測補償方法，首先建立一探針針頭的誤差函數；控制該探針針頭接觸一待測物，記錄其接觸點座標，並計算各接觸點的法線向量，由法線向量取得定位角；將定位角代入誤差函數，以計算探針針頭對應各接觸點法線方向上的誤差以作為補償值；將所得補償值與待測物的接觸點座標進行相加；因此，將所得誤差與待測物的接觸點座標進行相加之後，即是已經排除探針針頭本身的形狀誤差，而為更精確的待測物表面輪廓。
特色 降低因探針本身衍生的誤差。
創造效益 本發明是有關一種探針量測補償方法，特別是指補償探針本身形狀誤差的補償方法。
市場資訊
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期：112-08-04　/　維護單位：系統管理者
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