60周年
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專利名稱

超精密壓電定位平台
讓與公告年度 113
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華人民共和國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1010718~1181229
專利證號 ZL200910249593.4
摘要 本發明係關於一種超精密壓電定位平台，其中藉由一第一微動模組、一第二微動模組及一第三微動模組之配合，透過複數個壓電元件使該第一微動模組、該第二微動模組及該第三微動模組產生位移，使該超精密壓電定位平台可進行多軸向、非等圓及非線性之微動調整機能，並達到高精密度定位之功效。並且，該第一微動模組、該第二微動模組及該第三微動模組係以反層疊組合方式結合，更扁平化該超精密壓電定位平台，故有效簡化該超精密壓電定位平台之體積與高度。再者，模組化的設計，使得該超精密壓電定位平台之組裝零件少、拆卸方便且易於維修。
特色 本專利可應用於目前與未來之曝光微影製程中之光罩系統，大幅降低因光罩更換時所發生之精度誤差與調整問題；由於未來的市場皆多朝向少量多樣來發展，如何降低因品種切換所產生之延宕，就等於提昇產業競爭力；未來可與多家MEMS、小型晶圓廠或LED磊晶廠等洽談將產品導入製程中，除了提升品種更換速度更可以將對位之精度大幅的提高。
創造效益 市售有關的多自由度超精密定位平台，不僅佔空間、造價亦非常昂貴，而精簡型超精密壓電定位平台是利用平面式鉸鏈與撓性聯軸器以反層疊的方式達到精巧及扁平的效果達到多軸向的移動，構思上採一體成型、模組化的創意設計，使得組裝零件少、拆卸方便且易於維修，且在平面上的移動不侷限在線性與圓形移動上。
市場資訊
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期：112-08-04　/　維護單位：系統管理者
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