60周年
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專利名稱

真空機械引入模組

讓與公告年度 113
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1011201~1171229
專利證號 I378151
摘要 本發明之真空機械引入模組以一夾治單元於一真空腔體中夾治一工件，以一冷卻單元冷卻該工件，以一升降單元升降該工件，及以一旋轉單元旋轉降該工件。藉由該夾治單元、該冷卻單元、該升降單元及該旋轉單元之配合，該真空機械引入模組同時具有旋轉運動功能、直線運動功能、冷卻功能及調整該真空腔體中蒸發源與該工件間距離之功能，故可提升鍍膜之均勻性、緻密性及附著性。
特色 於批次式或枚葉式真空設備，中導入偏壓及冷卻水之設計。將有助於提升所製作鍍膜之特性，因此可以有效擴展真空設備業之製程應用領域。
創造效益 1.提升鍍膜均勻性
2.提升鍍膜緻密性
3.增加鍍膜附著性
市場資訊 真空動力引入機構國內外每年需求量有不斷增加的趨勢
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期：112-08-04　/　維護單位：系統管理者
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