60周年
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專利名稱

兩段式上下板影像精密對位方法及其裝置
讓與公告年度 113
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1020311~1171001
專利證號 I388945
摘要 本專利係有關上下板對位之設計及方法，是屬於一種對位標記的設計並發展與之相關之精密對位方法，來達到應用此技術之上下板快速且精密對位之目的。
主要分別在各層板的對應兩側的同一位置設計兩組對位標記，當在上下板完成預定位時，以低倍率攝影機擷取上下標記之複合影像，再配合為此對位標記所設計之影像處理方法，獲得上下各板對位標記之精確中心位置，然後經由幾何空間運算及影像伺服閉迴路誤差補償，達到上下板預對位之目的。完成預對位後，即可確保細對位標記進入高倍率攝影機視野，再參照上述預對位之程序，進行細對位。
特色 由於物件微小化已是時勢所趨，故其製造的過程，對於自動精密定位與對位的技術倚賴日深，目前許多設備已朝向精密機構、影像視覺、運動控制..等高速度與高精度之自動化整合方向開發，由於複雜度高、整合性高，故此類機台價格高昂，相對的附加價值也較高，因此可創造頗高的產業效益。而這類技術的建立將有助於產業技術升級、提高國際競爭力，典型之上下板對位之技術應用為微影製程曝光機之玻璃光罩精密對位，而此類自動精密對位技術使用的範圍甚廣泛，如半導體業、平面顯示器業、印刷電路板業、精密網版印刷、壓印、轉印..等。
創造效益 1.提供一個上下板簡便之精密對位方式
2.可避免其他方法，如雷射感測器尋邊對位之耗時及準確度偏低之缺點
3.預對位與細對位同一種設計方法、同一種對位標記（尺寸不同），採用相同的影像處理方法，執行上具高度之方便性。
市場資訊
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期：112-08-04　/　維護單位：系統管理者
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