60周年
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專利名稱

常壓電漿產生裝置
讓與公告年度 113
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1010511~1160918
專利證號 I364243
摘要 一種常壓電漿產生裝置，包含一分流組件、數個均流板及數個電漿放射單元，該分流組件包含一殼體、數個進氣口及數個穿孔，該殼體內部具有一腔室，該進氣孔貫穿設置於該殼體之一壁面，該穿孔則穿設於該殼體之另一壁面，且該進氣口及穿孔分別與該腔室連通；該均流板相互平行設置於該腔室內，各該均流板係設置數個擴散孔，且各該均流板之間係具有一間距，該電漿放射單元分別設有二電極部及一通管，該二電極部設置於該通管之外表面，且其之間留有一間隙，通管之一端係對應連通於該分流組件之穿孔，且該通管對應排列形成一電漿處理區域。
特色 本發明主要目的係提供一種常壓電漿產生裝置，其具有提升工作氣體均勻度及製程品質之功效。
本發明次要目的係提供一種常壓電漿產生裝置，其具有提升使用便利性及噴流壓力之功效。
本發明再一目的係提供一種常壓電漿產生裝置，其具有提升處理均勻性及處理效率之功效。
創造效益 本發明係關於一種常壓電漿產生裝置，特別是關於利用將數個進氣口平均分佈於一分流組件之側面，並於該分流組件內設置數個均流板，以提升工作氣體均勻度、處理品質、使用便利性及噴流壓力之常壓電漿產生裝置。
市場資訊
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期：112-08-04　/　維護單位：系統管理者
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