60周年
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專利名稱

具內藏式冷卻流道靶材背板及其製造方法
讓與公告年度 113
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 990401~1160705
專利證號 I322735
摘要 本發明揭示一種具內藏式冷卻流道靶材背板及其製造方法，係組合一蓋板及一本體後施予摩擦銲接，包含：提供表面由第一溝槽及第二溝槽組成階梯凹槽之本體，第一溝槽具有一本體嵌合結構，將一蓋板組合於本體之第一溝槽內，蓋板形狀係匹配第一溝槽，且蓋板設有一蓋板嵌合結構對應本體嵌合結構，以使蓋板與本體互相嵌合，且嵌合後第二溝槽形成一內藏式流道，蓋板外圍與本體間形成一組合接縫，並以機械扣合方式固定蓋板與本體，續再以摩擦攪拌銲接組合接縫予以密封銲接，最後加工至最終尺寸，使形成具內藏式中空通道之板狀結構物。
特色 本專利提出目的在改善蓋板預固定方式及提升攪拌工具壽命，使摩擦攪拌銲接製程在背板槽道密封接合應用能落實，達到密封品質提升、製造成本降低之目的。
創造效益 本專利應用之主要標的銅背板產品為TFT-LCD產業PVD薄膜製程的耗損性零組件，而TFT-LCD產業為國內重要產業，在世界產業鍊也佔重要地位，以國內各代數產線之銅背板需求，預期可創造此領域的產值3億元/年以上。
市場資訊
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期：112-08-04　/　維護單位：系統管理者
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