60周年
專利名稱

廢液中粉體之回收系統及其方法

讓與公告年度 113
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1000521~1151212
專利證號 I342299
摘要 一種廢液中粉體之回收系統及其方法,其係指將製程材料於微製程中所產生存在於廢液之微粉體,以不產生質變的方式予以回收,並獲致潔淨水資源的技術,其係將廢液流經可控制磁場強度之流道,而利用磁力吸附固定廢液中之金屬粉體,接著將廢液經電泳沈積裝置,再施以電壓使電泳沈積裝置產生電場作用,而以電泳沈積法將電之粉體粒子吸附沈積電極板,即可於電極板上蒐集粉體粒子,最後再將廢液放流至下游端之過濾裝置;藉此,利用磁力、電化學及物理過濾之多階段分離技術,即可於廢液中以高沈積速度回收獲致不會產生化學變化之粉體,以精煉回收。
特色 本發明尤指其提供一種可於廢液中利用磁力、電化學及物理過濾之多階段分離技術,而以高沈積速度回收粉體及水資源,進而達到資源再回收利用之回收系統及其方法。
創造效益 提供一種廢液中粉體之回收系統及其方法,其係於可控制磁場強度之流道及電泳沈積裝置之電極片上加裝刮除機構,將已固定粉體刮除,以自動集中已吸附固定粉體,供回收或再精煉使用,並可有效保持吸附的能力,進而有效提高回收使用效果。
市場資訊 本專利運用電泳沈積方式吸附廢液中粉體進行回收,可用於晶圓研磨切割廢液或其他金屬製品加工後廢潤滑或沖洗液內之原料回收。
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail :judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期:112-08-04 / 維護單位:系統管理者
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