60周年
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專利名稱

真空滑動式電引入裝置
讓與公告年度 113
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 981111~1150906
專利證號 I316969
摘要 真空滑動式電引入其主要功能為由大氣環境下傳輸電力至真空環境之重要媒介。可有效維持真空度防止洩漏並確實傳達電力源，並兼具真空直線運動功能。
特色 1.提高真空設備關鍵零組件自製率。
2.縮短製造真空設備時程，降低設備成本。
3.活動性及配合度靈活，可配合不同尺寸及環境需求而設計。
4.適用基板或引入端可活動之電引入型式
創造效益 1.提高真空用零組件自主性並大幅降低採購成本(約較先前使用進口產品價格差3倍)。
2.提供穩定之供貨源無停工待料之虞，縮短設備交貨期限(原需3個月交貨期縮短為1個月)。
3.  使用彈性大，適用基板或引入端可活動之電引入型式。
市場資訊 真空滑動引入每年需求模組約200組
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期：112-08-04　/　維護單位：系統管理者
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