60周年
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專利名稱

靶源冷卻器的冷卻水路
讓與公告年度 113
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 990221~1151018
專利證號 I320806
摘要 靶源水引路其主要功能，能由大氣環境下輸送冷卻水，進入靶源本體內做冷卻功能，並確實達到進出水分流冷卻的功能。
特色 1.靶源水引入零組件自製。
2.提高靶源冷卻效率（包括靶材冷卻均勻性）。
3.降低生產成本。
4.可配合不同尺寸及環境需求而微調設計。
5.以同靶材尺寸之需求可設計出冷卻較佳的水路。
6.防止磁受熱退磁。
7.防止O型環受熱老化。
創造效益 1.提昇靶源使用壽命。（不因超過材料熔點提前結束使用壽命）
2.降低設備投資成本。（60%）
3.節省設備交貨時間。（提早2/3的交期）
4.提供穩定之供貨源無停工待料之虞。
5.可長時間將靶材運作在高功率之下。（靶面438*81mm、4.5KW連續運轉10小時）
市場資訊 磁控濺鍍靶源國內外每年需求量有不斷增加的趨勢
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期：112-08-04　/　維護單位：系統管理者
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