60周年
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專利名稱

運用於元件之微細尺寸機上量測之方法及系統
讓與公告年度 113
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 960901~1150711
專利證號 I286199
摘要 本發明係一種運用於元件之微細尺寸機上量測之方法，係包含提供一微細尺寸之機上量測系統步驟、提供一待測元件步驟、運用控制單元產出一量測路徑作業步驟、運用訊號單元產出一量測訊號作業，並傳送量測訊號至微細量測探頭步驟、進行微細量測探頭位移以電性測量方式量測元件之微細尺寸作業步驟及進行分析量測尺寸訊號作業步驟，當本發明實施運用時，係不需離線量測，且能提升元件成品之微細尺寸精度及提供更微小之量測尺度範圍，另外，本發明還包含一種運用於元件之微細尺寸機上量測之系統。
特色 對於高深寬比之細微元件，使用機上尺寸量測方法可以避免光學影像量測方法上的遮蔽問題與量測死角。機上尺寸量測方法可針對各種幾何外型與尺寸之待測元件，產生適當之量測間距與有效率之量測路徑，以獲得較佳之量測結果機上尺寸量測方法可針對各種幾何外型與尺寸之待測元件，搭配不同幾何外型與尺寸之細微探頭，以獲得較佳之量測結果。機上尺寸量測方法可針對各種幾何外型尺寸與材料特性之待測元件，使用不同之數學演算法來分析量測訊號之變化模式，藉此判定細微探頭與待測元件之接觸狀態，以獲得較佳之量測結果。
創造效益 機上尺寸量測系統可作為一獨立量測模組，安裝於各式工具機上，針對機上被加工元件進行尺寸量測，所以機上尺寸量測系統可以節省量測被加工元件所耗費的拆裝時間，避免安裝時的校正問題，提升量測效率，而配有此一機上尺寸量測系統之工具機則可因此提升其設備附加價值約50%。
市場資訊
聯絡人 金屬工業研究發展中心 羅政副組長 
Tel: 07-3513121轉2366, Fax: 07-3534062
E-mail ：judylo@mail.mirdc.org.tw
更新日期：112-08-04　/　維護單位：系統管理者
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