60周年
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專利名稱

具熱膨脹間隙監測功能的加熱裝置
年度 103
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1030811~1201212
專利證號 I449109
摘要 一種具熱膨脹間隙監測功能的加熱裝置，包含一加熱器，及一設於該加熱器內的檢測單元。該加熱器包括一本體，及一設於該本體內的加熱件。該檢測單元包括一能發出光線的光發射件，及一感知光線的光接收件，該光發射件與光接收件均設於該加熱器的本體內，並分別位於該加熱件的兩側。當該加熱件與加熱器的本體之間產生間隙時，該光接收件會接收到光發射件發出的光，根據光訊號的差異可以得知間隙的大小、多寡，預先的判斷該加熱器的使用壽命，提早做應變措施。
特色 可預先判斷加熱器的使用壽命，提早做應變措施。
創造效益 本發明是有關於一種加熱裝置，特別是指一種具熱膨脹間隙監測功能的加熱裝置。
市場資訊 國內目前有生產製造基板加入器的廠商多半為逆向國外原廠設備之內含的基板加熱器，在專利上較少佈局，也因此較容易在逆向後遭遇一些量產時侵犯到專利的問題。

基板加熱器的應用以高附加價值的設備為主，譬如真空鍍膜設備等，國內市場如以行終端商的需求而言，市場需求頗高，但目前終端商之設備大多仍以進口為主，如諾發公司(Novellus)、美商應材(AMAT)等，是故國內設備製造商仍有空間推進終端商。
聯絡人 黃偉咸 電話 07-3513121分機 2365 
E-mail：vincent@mail.mirdc.org.tw
維護單位：系統管理者
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