60周年
:::
專利名稱

ALIGNMENT METHOD FOR ASSEMBLING SUBSTRATES IN DIFFERENT SPACES WITHOUT FIDUCIAL MARK AND ITS SYSTEM
年度 103
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 美國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1031007~1220221
專利證號 US8,854,450B2
摘要 一種無標記異空間基板組裝對位方法及系統，其包含下列步驟：預定義二基板的標準局部特徵區域；分別擷取在不同等待空間之二基板之至少二實際局部圖像；分別比對並取得二基板之至少二實際局部特徵區域；分別建立二基板之實際座標系統；比對二基板之實際座標系統，以取得一組偏移量；分別利用該組偏移量及一預定移動量使二基板由各自的等待空間移動到一對位組裝空間中；以及使二基板在對位組裝空間中完成堆疊對位組裝。
特色 1.可使得欲組裝之基板不需額外設計任何專門做為對位用途之標記，即可順利完成計算基板組裝前所需之移動補償量，同時也不會佔用有限之對位組裝空間，因而有利於降低組裝對位成本、提高組裝對位精度及增加對位設備之設置彈性。
2.在機台用以組裝對位不同規格之基板時，可隨時依不同之基板規格立即由影像處理裝置來更改設定二基板上之某一局部區域之既有表面形狀特徵做為參考標記，因而有利於提高組裝對位作業之操作設定彈性。
創造效益 本發明係關於一種無標記異空間基板組裝對位方法及系統，特別是關於一種直接利用基板表面形狀特徵做為參考標記以分別計算位在不同空間系統之二基板移動補償量的無標記異空間基板組裝對位方法及系統。
市場資訊
聯絡人 黃偉咸 電話 07-3513121分機 2365 
E-mail：vincent@mail.mirdc.org.tw
維護單位：系統管理者
<