60周年
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專利名稱

多獨立靶材製作鋯基金屬玻璃鍍膜的方法及其產品
年度 103
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1030201~1181223
專利證號 I425103
摘要 一種多獨立靶材製作鋯基金屬玻璃鍍膜的方法，包含先於鍍膜設備中準備間隔設置的主靶材，及複數副靶材，其中，主靶材是Zr所構成，複數副靶材分別是選自Al、Ni、Cu、Ti、V、Mg，及此等之組合所構成，再於通入Ar(g)、He(g)、N2(g)和C2H2(g)並控制壓力在1.0×10-2Torr~1.0×10-3Torr的高真空腔壓下，控制主靶材的靶電流是1安培~5安培，該些複數副靶材的靶電流分別不為0且不大於3安培而激發至該基材上形成鋯基金屬玻璃鍍膜。本發明還提供具有鋯基金屬玻璃鍍膜的複合材料，適用於燃料電池、醫療用具，及3C產品殼件。
特色 以多元成分低溫PVD靶源強化混合完全反應設計技術，來蒸鍍金屬玻璃薄膜(非晶質)鍍層於燃料電池金屬雙極板及醫療用品。所建立之積層金屬板(含預塗板)+高能率成形技術、多元成分組合式靶源PVD蒸鍍金屬玻璃鍍層…等技術成果，可衍生應用於3C產品、運輸工具、醫療器械、民生/化工等產業/產品之創新應用。
創造效益 1.可在鹽霧試驗中腐蝕液為5％NaCl中試驗72小時不腐蝕，在極化曲線1MH2SO4腐蝕液中Icorr=8.7*10-6A/cm2(沒處理的316L不鏽鋼試片Icorr=47*10-6A/cm2)。
2.提升抗菌能力，對金黃色葡萄球菌、綠濃桿菌及大腸桿菌減菌達99.9％。
3.不需製作塊材直接以四支獨立靶材合成非晶薄膜，節省合金靶熔煉得時間及成本。 
4.同時具耐蝕及抗菌的功能。
5.本專利可應用於不同材料表面，如金屬、非金屬及高分子材料。
6.本專利具高硬度及高耐蝕，可應用於燃料電池金屬雙極板、醫療器材及3C產品。
市場資訊
聯絡人 黃偉咸 電話 07-3513121分機 2365 
E-mail：vincent@mail.mirdc.org.tw
維護單位：系統管理者
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