60周年
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看見精微-金屬中心研發小型模組化高精度氣靜壓平台關鍵技術

光電半導體、生醫、能源、精微製造等高科技產業，牽動國內整體經濟發展與脈動；近年來新興產業如微創醫療器械、環保綠能等更與精微製造產業息息相關；然而多數帶動國內經濟發展貢獻之產業，其核心製程設備與檢測設備因仰賴國外進口，導致獲利萎縮、限制了關鍵新製程技術的發展。

有鑑於精微製造設備的市場需求，運動平台模組的小型化為產業趨勢，金屬中心於99年起積極投入高性能新型多孔質氣靜壓軸承技術，可提升國內產業製程與檢測設備的自製率，建立小型化、次微米級與奈米級精度之中高階氣靜壓運動平台系統技術。

金屬中心現行開發之最小氣靜壓平台尺寸230x150x66mm、行程60mm、承載力150N、平台直線度:0.8μm/60mm，以光電半導體為例：具空間限制之無塵室環境，若採用模組化小型氣靜壓運動平台，將可縮小現有製程設備之體積。未來金屬中心將致力建置氣靜壓運動平台產業發展所需之共用基礎環境，包含運動平台性能測試、精度量測與應用技術驗證環境，為國內產業之運動平台關鍵技術建立穩固的基礎。
維護單位：系統管理者
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