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主題名稱

鈦濺射靶材於高科技產業中的應用
作者 李盈瑩
出版單位
張貼日期 2022-01-27
資料類別 產業評析
內容摘要 鈦基材料因具有良好的耐腐蝕性能以及密度低、比強度高等優良物理特性，在真空鍍膜領域中，常被做為靶材來製作鈦基複合材料，進而提高基材性能和使用壽命，也促進鈦材在工業領域中的應用。本篇即從濺射靶材產業切入，包括產業應用與結構占比，再帶到全球主要靶材的材料、用途與性能要求等，以及鈦金屬於濺射靶材領域之應用與機會，並思考台灣在高階半導體靶材上的需求及國產自主供應鏈議題。
相關連結 https://mii.mirdc.org.tw/Report/Detail/1561?Category=3
更新日期：111-01-27　/　維護單位：系統管理者
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