60周年
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專利名稱

應用於真空製程之連續送料裝置
年度 102
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1021111~1191221
專利證號 I414474
摘要 一種應用於真空製程之連續送料裝置，其係於一本體之二端分別設有供穿置料帶之槽道，且於內部架設具上、下滾輪之滾輪組，以供夾抵輸送料帶，該滾輪組與本體之槽道間並設有密封機構，該密封機構係於本體之槽道上方側壁設有可彈性接抵上滾輪環面之上密封件，且於槽道之下方側壁設有可彈性接抵下滾輪環面之下密封件，另該槽道之左、右側方則分別設有側密封件，並使該二側密封件可分別彈性貼抵上、下滾輪之端緣及上、下密封件之側緣，以形成連接抽氣裝置之真空輔助腔室，可裝設於真空製程設備之輸入端及輸出端，以進行真空製程之連續輸送料帶。
特色 達到提升真空密閉性及使用壽命之實用效益。
創造效益 本發明尤指其提供一種可有效確保阻隔氣體，以利進行料帶之真空製程加工，且可減少上、下密封件及側密封件之磨耗，以提升真空密閉性及使用壽命之應用於真空製程之連續送料裝置。
市場資訊
聯絡人 黃偉咸 電話 07-3513121分機 2365 
E-mail：vincent@mail.mirdc.org.tw
維護單位：系統管理者
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