60周年
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專利名稱

形成金屬玻璃鍍膜的靶材及該靶材形成之具有金屬玻璃鍍膜的複合材料
年度 102
狀態 獲證維護中
獲證編號
類別 發明
申請國家 中華民國
專利權人 金屬中心
專利起訖 1020901~1171228
專利證號 I406964
摘要 本專利製程包括以乾式電漿氣相蒸鍍製程，製備具導電性、耐蝕性金屬玻璃鍍膜之方法，該方法可應用在可應用燃料電池金屬雙極板、醫療手術刀具、3C產品殼件。
本專利可應用於金屬玻璃鍍膜預鍍金屬板材，應用此預鍍金屬板材可進行後繼成形加工為成品；或金屬成品件完成後，再進行最後金屬玻璃鍍膜處理。
以單靶設計將3金屬元素(含)以上材料以機械加工、或粉末成形壓製成不同厚度之長條狀、或塊狀靶材，依靶源尺寸大小而定，而達到最佳鍍層均勻性。
第一層金屬膜為鋁、銅、鉻、鎳、鈦、?、鈮、鎢、鈷或鋯等金屬或鎳磷合金。該第二層為金屬玻璃鍍
特色 國際預估未來至2011年，燃料電池平均複合年成長率可達42.9％，產值可達25億美金，到2016年平均複合年成長率亦達27.7％，產值則升高到85億美金，其中接近60％的市場屬於發電及衍生應用，若以我國市占比例5％估算，產值即達新台幣130億元。(能源局推動氫能與燃料電池產業與技術，資料來源： 經濟部能源局發佈日期：2008/04/29)。
創造效益 本發明技術以單靶製備3元素(含)以上金屬玻璃鍍膜方法，克服以往以快速冷卻方式製造金屬玻璃材料時，因冷卻速度限制導致只能製作薄形(一般低於5mm)金屬玻璃材料。而製作金屬玻璃薄膜時，由於採用多源靶，因靶源距離與基材間不易維持等距關係，造成被覆薄膜在大面積基材時，會造成薄膜成份非常大之變化，而無法維持金屬玻璃之結構。
以單靶設計將3元素(含)以上材料以機械加工、或粉末成形壓製成不同厚度之長條狀、或塊狀靶材，依靶源尺寸大小而定，而達到最佳鍍層均勻性。
本專利可應用傳統批量式設備或連續產線之靶源，非常具有量產化及工件大
市場資訊
聯絡人 黃偉咸 電話 07-3513121分機 2365 
E-mail：vincent@mail.mirdc.org.tw
維護單位：系統管理者
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